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JP31

超微細加工を対象とした成膜形状計算の自動モデリングシステムの開発と応用

○高橋 崇宏（静岡大学工学部），荒川 正幹（東京大学大学院工学系研究科），船津 公人（東京大学大学院工学系研究科），江間 義則（静岡大学工学部）

微細領域の成膜形状を計算するシミュレータは、半導体デバイス作製過程で用いられるが、計算コストが非常に高い。そこで、自動的にシミュレータを操作してトレーニングデータを作成し、ニューラルネットワークで計算過程のモデル化を行うシステムの開発を行った。このモデル化により、計算コストの大幅な削減に成功した。